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碳化硅板为什么容易开裂?

返回列表来源:          发布日期:2019/4/28 11:59:42    |    加入收藏关注:

碳化硅板

碳化硅板具有热导率高、热稳定性好、高温强度高、耐磨损耐侵蚀等优点,但其抗氧化性较差,影响其使用寿命。碳化硅板在使用过程中常见的缺陷有开裂、铁斑、变形、落渣和粘瓷。碳化硅棚板最常见缺陷之一即是开裂由于碳化硅较易氧化成Si©而长大,在制造过程中常在较大搠板上预留膨胀缝,以部分抵消其膨胀。在碳化硅制品中,氧化硅是最主要的基质成分,对制品的性能影响很大。通常,影响制品质量的氧化硅存在形式主要有两种,一种是G-方石英,一种是石英,在升温过程中人-方石英180270弋范围内产生晶型转变,变成B-方石英,体积产生膨胀;在573P时,ot-石英变为B-石英,也产生体积膨胀,而且,这两次膨胀作用都很迅速,破坏作用很大。因此,在这两个温度区间内,升降温要缓慢,以防止碳化硅板开裂。

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